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Ein mikromechanischer Sensor (1) mit einem Substrat (2) und zumindest einer an dem Substrat (2) angeordneten und sich relativ zu dem Substrat (2) bewegenden Masse dient zur Ermittlung von Bewegungen des Sensors (1) auf Grund einer dabei auftretenden Beschleunigungs- und/oder Corioliskraft. Die Masse und das Substrat (2) und/oder zwei sich zueinander bewegende Massen sind mittels zumindest einer Biegefedereinrichtung (6) mit einer Feder in Form wenigstens eines Mäanders (10) miteinander verbunden. Der Mäander (10) weist einen Krümmungskreis mit einem Mittelpunkt innerhalb des Mäanders (10) auf. Der Mäander (10) weist zur Reduzierung auftretender Spannungen zusätzlich zu dem Krümmungsradius (r) mit dem inneren Mittelpunkt (MP) zumindest einen weiteren Krümmungsradius (r) mit einem Mittelpunkt (MP) außerhalb des Mäanders (10) auf.
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