Vorrichtung zur Erzeugung von Strahlung, Lithographiegerät, Verfahren zur Herstellung eines Bauteils und dieses
摘要
申请公布号
DE602005023696(D1)
申请公布日期
2010.11.04
申请号
DE20056023696T
申请日期
2005.07.14
申请人
ASML NETHERLANDS B.V.
发明人
KOSHELEV, KONSTANTIN NIKOLAEVITCH;IVANOV, VLADIMIR VITALEVITCH;KOROB, EVGENII DMITREEVITCH;ZUKAVISHVILI, GIVI GEORGIEVITCH;GAYAZOV, ROBERT RAFILEVITCH;KRIVTSUN, VLADIMIR MIHAILOVITCH
