发明名称 Silicon crystallization system and silicon crystallization method
摘要
申请公布号 KR100992120(B1) 申请公布日期 2010.11.04
申请号 KR20030015741 申请日期 2003.03.13
申请人 发明人
分类号 C30B29/06;B23K26/06;B23K26/067;H01L21/20;H01L21/268 主分类号 C30B29/06
代理机构 代理人
主权项
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