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经营范围
发明名称
Silicon crystallization system and silicon crystallization method
摘要
申请公布号
KR100992120(B1)
申请公布日期
2010.11.04
申请号
KR20030015741
申请日期
2003.03.13
申请人
发明人
分类号
C30B29/06;B23K26/06;B23K26/067;H01L21/20;H01L21/268
主分类号
C30B29/06
代理机构
代理人
主权项
地址
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