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发明名称
摘要
申请公布号 JP4574987(B2) 申请公布日期 2010.11.04
申请号 JP20030560971 申请日期 2003.01.10
申请人 发明人
分类号 H01L21/3065;H01L21/00;H01L21/31;H01L21/687 主分类号 H01L21/3065
代理机构 代理人
主权项
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