发明名称
摘要
申请公布号 JP4573314(B2) 申请公布日期 2010.11.04
申请号 JP19990347103 申请日期 1999.12.07
申请人 发明人
分类号 H01B7/28;C23C22/07;C23F15/00;H01B13/30 主分类号 H01B7/28
代理机构 代理人
主权项
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