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发明名称
摘要
申请公布号
JP4573204(B2)
申请公布日期
2010.11.04
申请号
JP20000143964
申请日期
2000.05.16
申请人
发明人
分类号
C03C8/24;H01L23/10
主分类号
C03C8/24
代理机构
代理人
主权项
地址
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