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发明名称
MEMS Microphone with Spring Suspended Backplate
摘要
A MEMS microphone has a base, a backplate, and a backplate spring suspending the backplate from the base. The microphone also has a diaphragm forming a variable capacitor with the backplate.
申请公布号
US2010278372(A1)
申请公布日期
2010.11.04
申请号
US20100774263
申请日期
2010.05.05
申请人
ANALOG DEVICES, INC.
发明人
ZHANG XIN
分类号
H04R1/00
主分类号
H04R1/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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