具有灵敏度调整电路以及调整过程的微机电系统装置

摘要

本发明提供了一种微机电系统(microelectromechanical system，MEMS)装置，此MEMS装置包括：隔膜电容器，此隔膜电容器连接在电容器偏压源以及接地端之间；源极随耦电路，此源极随耦电路耦合到隔膜电容器；放大器，此放大器耦合到源极随耦电路，以将感测电压信号放大为输出电压信号；以及可编程调整电路，此可编程调整电路与放大器一起来调整增益，或者与电容器偏压源一起来调整施加到隔膜电容器上的电压。从而，输出电压信号具有目标灵敏度。

主权项

一种微机电系统装置，所述微机电系统装置包括：隔膜电容器，所述隔膜电容器连接在电容器偏压源以及接地端之间，以用于产生感测电压信号；放大器，所述放大器用于将所述感测电压信号放大为输出电压信号；以及可编程调整电路，所述可编程调整电路与所述放大器一起实施以调整增益，或者与所述电容器偏压源一起实施以调整施加到所述隔膜电容器上的所述电容器偏压源的电压，从而所述输出电压信号具有目标灵敏度。