发明名称 绒面ZAO透明导电薄膜
摘要 本实用新型涉及一种太阳能电池用的绒面ZAO透明导电薄膜,ZAO薄膜厚度为300-400nm,ZAO薄膜上带有平行连续的正弦槽,所述的槽规律分布,槽深为100-120nm,相邻两个槽之间的距离为700-900nm。本实用新型材质环保无毒,成本便宜,具有精确的绒面结构,并适合大批量大面积制备。
申请公布号 CN201623164U 申请公布日期 2010.11.03
申请号 CN201020121286.6 申请日期 2010.03.02
申请人 张大伟;朱亦鸣;陈麟;任建强 发明人 张大伟;朱亦鸣;陈麟;任建强
分类号 H01L31/0232(2006.01)I;H01L31/0236(2006.01)I 主分类号 H01L31/0232(2006.01)I
代理机构 杭州之江专利事务所 33216 代理人 朱枫
主权项 绒面ZAO透明导电薄膜,其特征在于:ZAO薄膜厚度为300-400nm,ZAO薄膜上带有平行连续的正弦槽,所述的槽规律分布,槽深为100-120nm,相邻两个槽之间的距离为700-900nm。
地址 200000 上海市嘉定区菊园新区清河路390号