透镜位置控制方法及装置、刻录方法以及刻录装置

摘要

公开了一种透镜位置控制方法。物镜或母盘被移动，由此改变物镜和母盘的表面之间的距离，该母盘在其盘基上具有抗蚀材料膜。通过光电探测器检测透过物镜且被母盘表面反射而回射的激光束。当母盘位于物镜的焦点附近且检测到回射激光束时，物镜或母盘之一的移动被停止。边界数据被重写为一数据，该数据相应于通过将比物镜的工作距离小的移动允许量加至停止位置而获得的位置。当未检测到回射激光束时，在相应于边界数据的位置处，停止改变物镜和母盘之间的距离的移动。

主权项

一种透镜位置控制方法，包括：移动步骤，其中移动物镜或母盘，由此改变所述物镜和所述母盘的表面之间的距离，该母盘中在盘基上已形成抗蚀材料膜；检测步骤，其中通过光电探测器来检测透过所述物镜且被所述母盘的表面反射而回射的激光束；当所述母盘位于所述物镜的焦点附近且所述光电探测器检测到所述回射激光束时，停止所述物镜或所述母盘的移动的步骤；将边界数据重写为相应于通过将比物镜的工作距离小的移动允许量加至一聚焦搜索成功的位置所获得的位置的一数据的步骤；以及当未检测到所述回射激光束时，在相应于所述边界数据的位置处停止改变物镜和母盘的表面之间的距离的移动的步骤。