一种无水氟化氢气体的净化系统

摘要

一种无水氟化氢气体的净化系统属于化工领域。该净化系统包括进气管道、出气管道、净化塔、粉尘收集装置以及反吹装置；进气管道位于净化塔的下半部，出气管道位于净化塔的上半部；净化塔中放置能耐温度：20-100℃和耐负压：1000-3000MPa的膜材料，膜材料孔径小于1μm，同时，该膜材料具有耐氢氟酸腐蚀，所有膜材料总比表面积大于180m2/g；收集装置上端与净化塔底部相连接；反吹装置位于净化塔上半部或顶部，一端与净化塔相连，另一端与空压机相连。该净化系统成本低，技术参数易控制，工况操作方便，安全环保，可规模化连续生产等优点。使用该系统后，无水氟化氢气体中在常温常压下粉尘颗粒含量小于5g/m3，脱除的粉尘颗粒尺寸在200nm-500nm之间，主要由氟，硅，磷，铁，硫，氧等组成。

主权项

一种无水氟化氢气体的净化系统，其特征在于：该净化系统包括进气管道、出气管道、净化塔、粉尘收集装置以及反吹装置；进气管道位于净化塔的下半部，出气管道位于净化塔的上半部；净化塔中放置能耐温度：20-100℃和耐负压：1000-3000MPa的膜材料，膜材料孔径小于1μm，同时，该膜材料具有耐氢氟酸腐蚀，所有膜材料总比表面积大于180m2/g；收集装置上端与净化塔底部相连接；反吹装置位于净化塔上半部或顶部，一端与净化塔相连，另一端与空压机相连。