直流辉光放电清洗电极

摘要

一种在真空腔中清洗真空腔内壁应用的直流辉光放电清洗电极，克服了现有技术设计方案中电极芯与电极外壳之间的绝缘采用陶瓷喷涂层，涂层与电极芯结合的牢固性差，因而可靠性差的技术问题，它有一个电极芯，在电极芯外安装有不锈钢套和电极头，电极头前端连接有屏蔽头，在不锈钢套外安装有等静压陶瓷环，在等静压陶瓷环外安装有电极外壳，在电极芯中心设有进水通道，在电极芯外圆周上设有回水通道，在电极芯后端焊接有第一后堵和第二后堵，在第二后堵上焊接有内波纹管并连接有上电接头，内波纹管与陶瓷封接件焊接成一体，陶瓷封接件外安装有陶瓷绝缘管，陶瓷封接件上焊接有进水管接口和回水管接口，有益效果是，性能可靠、维修方便。

主权项

一种直流辉光放电清洗电极，包括一个电极芯(3)，在电极芯(3)外安装有不锈钢套(4)和电极头(2)，电极头(2)与不锈钢套(4)焊接成一体，电极头(2)前端连接有屏蔽头(1)，其特征在于，在不锈钢套(4)外安装有等静压陶瓷环(5)，在等静压陶瓷环(5)外安装电极外壳(8)，在电极芯(3)中心设有进水通道(6)，在电极芯(3)外圆周上设有回水通道(7)，在电极外壳(8)内、电极芯(3)的后端焊接有电极芯第一后堵(15)和与电极芯第一后堵焊接为一体的电极芯第二后堵(16)，在电极芯第二后堵(16)上焊接有内波纹管(12)，并连接有上电接头(9)。