HVPE喷头设计

摘要

本发明提供一种氢化物气相外延(HVPE)喷头设计，更具体地提供一种可以用于沉积工艺中的方法和装置，例如金属氮化物膜的HVPE沉积。第一组通路可引入含金属前驱物气体。第二组通路可提供含氮前驱物气体。分散所述第一和第二组通路以分开所述含金属前驱物气体和所述含氮前驱物气体直到它们到达衬底。惰性气体还可流经所述通道以帮助保持间距和限制所述通路处或其附近的反应，从而防止所述通路上的不需要的沉积。

主权项

一种在一个或多个衬底上形成金属氮化物的方法，包括：经所述一个或多个衬底上方的第一组通路，引入一个或多个含金属前驱物气体；经所述一个或多个衬底上方的第二组通路，引入含氮前驱物气体，其中所述第一组通路分散于所述第二组通路中；以及在所述第一和第二组通路上方向所述一个或多个衬底引入惰性气体以限制所述含金属前驱物气体和含氮前驱物气体在所述第一和第二组通路处或其附近反应。