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发明名称 A METHOD FOR PERFORMING ELECTRON BEAM LITHOGRAPHY
摘要
申请公布号 EP2245646(A1) 申请公布日期 2010.11.03
申请号 EP20090708412 申请日期 2009.02.05
申请人 NIL TECHNOLOGY APS 发明人 NIELSEN, THEODOR KAMP;BILENBERG, BRIAN;SHI, PEIXIONG
分类号 H01J37/317 主分类号 H01J37/317
代理机构 代理人
主权项
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