涂布装置、分散液移动方法

摘要

本发明提供气泡发生较少的涂布装置。使供给侧的循环罐(31L)的内部空间压力为比大气压低但比缓冲罐(41a-41c)内部空间压力高的压力，供给分散液，使作为回收目的地的循环罐(31R)的内部压力比大气压低，回收喷出室(42a-42c)内部的分散液。分散液不与比大气压高的高压气体接触，因此气体的溶解少，不使用泵，因此没有气体卷入或固体微粒的变形。

主权项

涂布装置，该涂布装置是使喷头组件与基板相对移动、使分散有固体微粒的分散液弹落在基板上的所希望的位置，该涂布装置具有：配置在上述喷头组件外部的第一、第二循环罐；设于上述喷头组件的缓冲罐；流入口与上述缓冲罐相连接的喷出室；设于上述第一、第二循环罐与上述缓冲罐之间的主配管；设于上述喷出室的流出口与上述第一、第二循环罐之间的返回配管；设于上述主配管、使上述第一、第二循环罐中的至少一方与上述缓冲罐连接的供给阀；和设于上述返回配管、使上述第一、第二循环罐中的至少一方与上述喷头组件连接的返回阀；以上述第一、第二循环罐和上述缓冲罐密闭，可以控制配置于上述各罐内部的上述分散液的上部空间压力的方式构成，在上述第一、第二循环罐中，以其中任意一方作为供给源，在使上述供给阀为打开状态，并与上述缓冲罐连接时，使上述作为供给源的循环罐内的压力为大气压以下，同时使上述分散液从上述作为供给源的循环罐向上述缓冲罐内移动。