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发明名称 DEFECT REDUCTION OF NON-POLAR AND SEMI-POLAR III-NITRIDES WITH SIDEWALL LATERAL EPITAXIAL OVERGROWTH (SLEO)
摘要
申请公布号 EP1897121(A4) 申请公布日期 2010.11.03
申请号 EP20060760567 申请日期 2006.05.31
申请人 THE REGENTS OF THE UNIVERSITY OF CALIFORNIA;JAPAN SCIENCE AND TECHNOLOGY AGENCY 发明人 IMER, BILGE M.;SPECK, JAMES S.;DENBAARS, STEVEN P.
分类号 H01L21/00;H01L21/02;H01L21/205 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
主权项
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