多柱结构

摘要

描述了具有复杂多层结构的微机械器件以及用于形成该器件的技术。

主权项

一种形成柱结构组件的方法，包括：将第一衬底结合至第二衬底，其中实现所述结合而不使用结合层；图案化所述第二衬底，其中所述图案化留下所述第二衬底的材料的第一部分以及所述第二衬底的材料的第二部分并除去所述第二衬底的所述第一与第二部分之间的材料，所述第一部分形成多个柱结构，所述第二部分形成一组件，所述组件为其中具有多个孔的整体结构，由所述第一部分形成的所述多个柱结构分别被包围在所述第二部分相应的孔中；以及使所述第二衬底的所述第二部分与所述第一衬底分离，其中所述第二部分不包括所述柱结构。