| 发明名称 | 吸附保持装置以及吸附保持方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种吸附保持装置以及吸附保持方法，可以通过简单且廉价的结构，不论基板的种类而可靠地吸附保持。具有：吸附片(2)，具有吸附面(21)；升降机构，使玻璃基板(P1)和吸附片(2)的相对位置变化；温度变更部(5)，改变吸附面(21)的温度；以及控制装置(100)，控制温度变更部(5)，以在使玻璃基板(P1)向吸附面(21)吸附时，在吸附面(21)结露。将吸附面(21)冷却至露点温度以下，使用所结露的水分吸附玻璃基板(P1)，向对置基板(P2)贴合。 | ||
| 申请公布号 | CN101490835B | 申请公布日期 | 2010.11.03 |
| 申请号 | CN200780026749.1 | 申请日期 | 2007.06.12 |
| 申请人 | 芝浦机械电子装置股份有限公司 | 发明人 | 横田典之 |
| 分类号 | H01L21/683(2006.01)I;B25J15/06(2006.01)I;B65G49/06(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/683(2006.01)I |
| 代理机构 | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人 | 曲瑞 |
| 主权项 | 一种吸附保持基板的吸附保持装置，其特征在于，具有：吸附单元，具有吸附面；驱动单元，使上述基板和上述吸附单元的相对位置变化；温度变更单元，改变上述吸附面的温度；以及控制单元，控制上述温度变更单元，以在使上述基板吸附到上述吸附面时，在上述吸附面结露。 | ||
| 地址 | 日本神奈川 | ||