一种双工位RH系统的真空管道密封装置

摘要

一种双工位RH系统的真空管道密封装置，涉及RH真空处理技术领域。为了克服现有密封装置存在的密封效果差、不能精确定位及定位时间长、设备寿命短的缺陷，本发明提供一种双工位RH系统的真空管道密封装置，可以较好地解决上述问题。本发明的密封弯头依靠运输小车进行平移和升降，运输小车过变频减速电机实现运输小车的平移；所述密封弯头设置在密封小车内，密封弯头通过链条和导轮与同步轴连接；液压缸一端固定于车架，另一端与同步轴连接，通过液压杆的伸缩实现密封弯头的升降。本发明保证了密封弯头的两端与冷凝器和输送管道进行快速、精确定位，密封效果好；还减少了设备的维护量，延长了设备的使用寿命，利于推广应用。

主权项

一种双工位RH系统的真空管道密封装置，包括密封弯头和用于运送密封弯头的装置，其特征在于：所述密封弯头依靠运输小车进行平移和升降，具体结构为：所述运输小车上安装有变频减速电机，通过变频减速电机实现运输小车的平移；所述密封弯头设置在密封小车内，密封弯头通过链条和导轮与同步轴连接；液压缸一端固定于车架，另一端与同步轴连接，通过液压杆的伸缩实现密封弯头的升降。