一种用于振动计量的低噪声外差激光干涉仪

摘要

本实用新型公开了一种用于振动计量的低噪声外差激光干涉仪，包括激光器、第一分光器、第一反射镜、第二反射镜、声光调制器、第二分光器、1/4波片和探测器，激光器发出的激光经第一分光器分光，透射光依次经过第一反射镜反射、第二分光器透射后作为参考光，进入探测器；激光经第一分光器的反射光依次经过第二反射镜、声光调制器调制、第二分光器后作为测量光，并经1/4波片后用来测量被测物体，被测物体漫反射的反射光返回依次经1/4波片、第二分光器反射后形成有效测量光进入探测器，与参考光干涉。本实用新型解决了当被测物体处于漫反射状态时，在增大有效测量光的同时，减少返回到激光腔的反射光，从而降低光电信号的本底噪声，提高信噪比和测量精度，确保系统稳定。

主权项

一种用于振动计量的低噪声外差激光干涉仪，其特征在于，该干涉仪包括激光器、第一分光器、第一反射镜、第二反射镜、声光调制器、第二分光器、1/4波片和探测器，激光器发出的激光经第一分光器分光，透射光依次经过第一反射镜反射、第二分光器透射后作为参考光，进入探测器；激光经第一分光器的反射光依次经过第二反射镜、声光调制器调制、第二分光器后作为测量光，并经1/4波片后用来测量被测物体，被测物体漫反射的反射光返回依次经1/4波片、第二分光器反射后形成有效测量光进入探测器，与参考光干涉。