用于将固体原材料供应至单晶生长器的装置和方法

摘要

本发明涉及用于将固体原材料供应至硅或锗半导体单晶的生长器的装置和方法。所述固体原材料供应装置包括：筒状本体，安装在所述坩埚上方，用于在其中接收所述固体原材料；底盖，可拆卸地安装在所述本体的底端，并且基本形成为锥形；以及连接装置，用于相对于所述本体相对地向上和向下移动所述底盖，所述锥形底盖由与待生长为单晶的半导体相同的材料制成；所述固体原材料被装入，同时所述底盖以预定的距离与坩埚中的熔融物隔开，这样所述底盖可重复使用，并且即使所述底盖因为固体原材料的下落所导致的碰撞而破损，底盖的碎片也不会污染熔融物。而且，本发明基本形成锥形的底盖，由此防止底盖的破损，并且能够将固体原材料均匀分散地装入到坩埚中。

主权项

一种用于将固体原材料供应至半导体单晶生长器的坩埚的装置，所述固体原材料是半导体单晶的原材料，所述装置包括：筒状本体，其位于所述坩埚上方，并可拆卸地安装在所述生长器中，用于容纳所述固体原材料；底盖，其可拆卸地安装在所述本体的底部，用于防止所述固体原材料的下落，并且所述底盖基本形成为锥形，所述锥形的顶点朝向所述固体原材料；以及连接装置，其穿过所述本体的内部空间的中部而连接在所述锥形底盖的顶点附近，用于相对于所述本体相对地向上和向下移动所述底盖，其中，多个沟槽从所述底盖的锥形顶点向下形成于朝向所述固体原材料的所述底盖的锥形表面上。