发明名称 剥离液组合物、使用了该剥离液组合物的树脂层的剥离方法
摘要 提供剥离液组合物,其对滤色器、光刻胶、罩面层等树脂层的剥离性优异,兼具对于金属配线等包含金属类的构件的防蚀作用。该剥离液组合物含有链烷醇胺类、芳香族醇类和防蚀剂。
申请公布号 CN101878452A 申请公布日期 2010.11.03
申请号 CN200880118038.1 申请日期 2008.10.17
申请人 汉高公司 发明人 金成正夫;佐口琢哉
分类号 G03F7/42(2006.01)I;H01L21/027(2006.01)I;H01L21/304(2006.01)I 主分类号 G03F7/42(2006.01)I
代理机构 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 代理人 王健
主权项 剥离液组合物,其用于剥离树脂层,含有链烷醇胺类、芳香族醇类和防蚀剂的组合。
地址 美国康涅狄格州