发明名称 | 剥离液组合物、使用了该剥离液组合物的树脂层的剥离方法 | ||
摘要 | 提供剥离液组合物,其对滤色器、光刻胶、罩面层等树脂层的剥离性优异,兼具对于金属配线等包含金属类的构件的防蚀作用。该剥离液组合物含有链烷醇胺类、芳香族醇类和防蚀剂。 | ||
申请公布号 | CN101878452A | 申请公布日期 | 2010.11.03 |
申请号 | CN200880118038.1 | 申请日期 | 2008.10.17 |
申请人 | 汉高公司 | 发明人 | 金成正夫;佐口琢哉 |
分类号 | G03F7/42(2006.01)I;H01L21/027(2006.01)I;H01L21/304(2006.01)I | 主分类号 | G03F7/42(2006.01)I |
代理机构 | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人 | 王健 |
主权项 | 剥离液组合物,其用于剥离树脂层,含有链烷醇胺类、芳香族醇类和防蚀剂的组合。 | ||
地址 | 美国康涅狄格州 |