真空蒸镀装置

摘要

本发明提供一种真空蒸镀装置，其包括传输机构、蒸镀机构、传感控制装置及真空机构，传输机构包括主腔体、闸门，传输组件及驱动器，主腔体两侧开设有闸口，闸门安装于所述闸口处，主腔体底部开设有连接口，驱动器与闸门及传输组件连接，驱动器驱动基板在传输组件上移动；蒸镀机构包括副腔体、挡板、动力组件、蒸发舟及蒸发源，蒸发舟安装于副腔体内，蒸发源放置于蒸发舟内，副腔体正对主腔体的连接口处开设有对接口，挡板安装于连接口与对接口之间；传感控制装置包括传感器及与控制器，控制器与传输组件及蒸发舟电连接；真空机构包括粗抽管道、真空泵以及闸阀，粗抽管道与副腔体连通，粗抽管道与真空泵相连接。

主权项

一种真空蒸镀装置，适用于有机发光二极管行业中基板的蒸镀工艺，其特征在于，所述真空蒸镀装置包括：传输机构，所述传输机构包括主腔体、闸门，传输组件以及驱动器，所述主腔体呈中空结构，所述主腔体两侧分别正对开设有闸口，两闸门分别安装于两所述闸口处，所述主腔体的底部还开设有连接口，所述传输组件连接于两所述闸口之间，所述驱动器与所述闸门及所述传输组件连接，所述驱动器驱动所述闸门相对所述闸口的打开或关闭，所述驱动器驱动所述基板在所述传输组件上移动；蒸镀机构，所述蒸镀机构包括副腔体、挡板、动力组件、蒸发舟以及至少一个蒸发源，所述副腔体呈中空结构，所述蒸发舟安装于所述副腔体内，所述蒸发源放置于所述蒸发舟内，所述副腔体正对所述主腔体的所述连接口处开设有对接口，所述挡板安装于所述连接口与所述对接口之间，且所述挡板与所述动力组件连接，所述挡板与所述副腔体的中空结构形成副密封空腔，所述挡板与所述主腔体的中空结构形成主密封空腔，所述驱动器驱动所述挡板打开或关闭；当所述挡板打开，所述主密封空腔与所述副密封空腔相互连通；当所述挡板关闭，所述主密封空腔与所述副密封空腔相互独立密封；传感控制装置，所述传感控制装置包括传感器及与所述传感器电连接的控制器，所述传感器安装于所述主腔体内，所述控制器与所述传输组件及蒸发舟电连接；以及真空机构，所述真空机构包括粗抽管道、真空泵以及闸阀，所述粗抽管道的一端与所述副腔体连通，所述粗抽管道的另一端与所述真空泵相连接，所述闸阀安装在所述真空泵与所述副腔体之间。