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发明名称
Manufacturing method of semiconductor memory device
摘要
申请公布号
KR100990536(B1)
申请公布日期
2010.10.29
申请号
KR20080052951
申请日期
2008.06.05
申请人
发明人
分类号
H01L21/76;H01L21/324
主分类号
H01L21/76
代理机构
代理人
主权项
地址
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