摘要 |
Настоящее изобретение относится к микрочипу, содержащему множество слоев LTCC, причем реакционная камера, предназначенная для размещения образцов, образована во множестве верхних слоев. По меньшей мере в один из слоев, находящихся под реакционной камерой, встроен нагреватель; по меньшей мере в один из слоев между нагревателем и реакционной камерой, служащей для анализа образца, встроен датчик температуры. Датчик температуры для измерения температуры чипа может быть размещен вне чипа. |