LIFT PIN STRUCTURE AND SUBSTRATE TREATING APPARATUS WITH IT,申请号KR20080080921-传众专利搜索

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发明名称	LIFT PIN STRUCTURE AND SUBSTRATE TREATING APPARATUS WITH IT
摘要
申请公布号	KR100989852(B1)	申请公布日期	2010.10.29
申请号	KR20080080921	申请日期	2008.08.19
申请人		发明人
分类号	H01L21/687;H01L21/683	主分类号	H01L21/687
代理机构		代理人
主权项
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