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发明名称 SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS AND METHOD FOR TRANSFERRING SUBSTRATE OF THE SAME
摘要
申请公布号 KR100989851(B1) 申请公布日期 2010.10.29
申请号 KR20080084581 申请日期 2008.08.28
申请人 发明人
分类号 H01L21/687;H01L21/677;H01L21/68;H01L21/683 主分类号 H01L21/687
代理机构 代理人
主权项
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