| 发明名称 |
METHOD FOR PURIFYING UNSATURATED FLUOROCARBON COMPOUND, METHOD FOR FORMING FLUOROCARBON FILM, AND METHOD FOR PRODUCING SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
US2010273326(A1) |
申请公布日期 |
2010.10.28 |
| 申请号 |
US20060085675 |
申请日期 |
2006.11.30 |
| 申请人 |
NAKAMURA MASAHIRO;SOMA YUKA |
发明人 |
NAKAMURA MASAHIRO;SOMA YUKA |
| 分类号 |
H01L21/30;C07C17/38;H05H1/24 |
主分类号 |
H01L21/30 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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