发明名称 POLISHING APPARATUS, POLISHING AUXILIARY APPARATUS AND POLISHING METHOD
摘要
申请公布号 KR20100115819(A) 申请公布日期 2010.10.28
申请号 KR20107022222 申请日期 2009.04.10
申请人 SHOWA DENKO K.K. 发明人 SUGANO SUSUMU
分类号 B24B7/04;B24B53/02 主分类号 B24B7/04
代理机构 代理人
主权项
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