发明名称 Photoresist-Strippermittel und Verfahren zum Strippen von Photoresistaufträgen unter Verwendung des Mittels
摘要
申请公布号 DE10049831(B4) 申请公布日期 2010.10.28
申请号 DE20001049831 申请日期 2000.10.09
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO. LTD. 发明人 MOON, SANG-SIK;JEON, MI-SOOK;JUN, PIL-KWON;KIL, JUNE-ING;PARK, JE-EUNG;CHON, SANG-MUN
分类号 G03F7/32;G03F7/40;B08B3/02;B08B3/08;C11D7/50;C11D11/00;G03F7/30;G03F7/42;H01L21/027;H01L21/311 主分类号 G03F7/32
代理机构 代理人
主权项
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