| 发明名称 |
METHODS AND SYSTEMS FOR DETERMINING A CRITICAL DIMENSION AND OVERLAY OF A SPECIMEN |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
US2010271621(A1) |
申请公布日期 |
2010.10.28 |
| 申请号 |
US20100830408 |
申请日期 |
2010.07.05 |
| 申请人 |
KLA-TENCOR TECHNOLOGIES CORPORATION |
发明人 |
LEVY ADY;BROWN KYLE A.;SMEDT RODNEY;BULTMAN GARY;NIKOONAHAD MEHRDAD;WACK DAN;FIELDEN JOHN;ABDUL-HALIM IBRAHIM |
| 分类号 |
G01N21/00;G01B11/00;G01B11/14;G01N21/21;G01N21/47;G01N21/63;G01N21/64;G01N21/95;G03F7/20;H01L21/66 |
主分类号 |
G01N21/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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