Aufnahmeeinrichtung zur Aufnahme von Halbleitersubstraten

摘要

Aufnahmeeinrichtung zur Aufnahme von flächigen Halbleitersubstraten mit - einem Träger, - einem auf dem Träger fixierten oder fixierbaren Aufnahmekörper mit einer vom Träger abgewandten Aufnahmeseite und - mindestens einem den Aufnahmekörper durchsetzenden Unterdruckkanal mit einem Saugende an der Aufnahmeseite, wobei die Aufnahmeseite eine definierte Saugstruktur aus weichem Material aufweist.