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<p>Für einen BAW Resonator wird vorgeschlagen, eine metallische Schicht (HS1, HS2) des als akustischen Spiegel genutzten Bragg-Reflektors (DS, HS1, NS, HS2) zu nutzen, um die effektive Leitfähigkeit der Bodenelektrode zu verbessern. Dazu wird in einem Verbindungsbereich (VB) ein elektrischer Kontakt zwischen Bodenelektrode (BE) und oberster Hochimpedanzschicht (HS1) des akustischen Spiegels hergestellt und dabei der Anschlusswiderstand der Bodenelektrode reduziert.</p> |
