一种探针台

摘要

本实用新型提供一种探针台，包括：探针卡；载晶盘，用于承载晶片；上下方向抬升机构，用于承载所述载晶盘，并使所述载晶盘在上下方向移动；轨道，用于承载所述上下方向抬升机构和所述载晶盘，并使所述上下方向抬升机构和所述载晶盘在水平方向或竖直方向移动，还包括排风扇，所述排风扇安装于所述轨道的活动区域之外。本实用新型提供的探针台在工作过程中，通过运转的排风扇将润滑油蒸汽吹散，使其无法在空中因遇冷重新凝结为润滑油滴，避免了重新凝结的润滑油滴掉落在载晶盘所承载的晶片上，提高了探针卡对晶片进行性能测试的准确性，可使晶片的良率提高1％至2％。

主权项

一种探针台，包括：探针卡；载晶盘，用于承载晶片；上下方向抬升机构，用于承载所述载晶盘，并使所述载晶盘在上下方向移动；轨道，用于承载所述上下方向抬升机构和所述载晶盘，并使所述上下方向抬升机构和所述载晶盘在水平方向或竖直方向移动，其特征在于，还包括排风扇，所述排风扇安装于所述轨道的活动区域之外。