光学多层反射镜和具有其的法布里-珀罗干涉仪

摘要

一种Fabry-Perot干涉仪的光学多层反射镜，包括作为第二和第四高折射率层(5，9)的每者的侧壁提供的加强部分。分别将所述加强部分构造为支持覆盖所述第一和第二低折射率层(4，8)的每者的顶表面的第二和第四高折射率层的部分，并且经由所述第一和第二低折射率层(4，8)中的每者抵达所述第一和第三高折射率层。在凭借通过选择第一到第四高折射率层以及第一和第二低折射率层的材料获得高n比时，即使第一和第二低折射率层缺少机械强度，所述加强部分也有助于防止第二和第四高折射率层发生弯曲。因而，所述光学多层反射镜以宽高反射率波段为特征。

主权项

一种光学多层反射镜，其包括下部反射镜和上部反射镜，所述下部反射镜布置在衬底上，所述上部反射镜经由间隙面对所述下部反射镜，所述下部反射镜包括：第一高折射率层，其布置在所述衬底上，并以第一折射率为特征；第一低折射率层，其被布置为面对所述第一高折射率层，并以小于所述第一折射率的第二折射率为特征；第二高折射率层，其被布置为覆盖所述第一低折射率层；以及第一加强部分，其被构造为支持覆盖所述第一低折射率层的顶表面的所述第二高折射率层的部分，并经由所述第一低折射率层抵达所述第一高折射率层，所述上部反射镜包括：第三高折射率层，其布置在形成于所述第二高折射率层上的绝缘层上，并以所述第一折射率为特征；第二低折射率层，其被布置为面对所述第三高折射率层，并以所述第二折射率为特征；第四高折射率层，其被布置为覆盖所述第二低折射率层；以及第二加强部分，其被构造为支持覆盖所述第二低折射率层的顶表面的所述第四高折射率层的部分，并经由所述第二低折射率层抵达所述第三高折射率层，其中：包含在所述下部反射镜内的所述第一加强部分形成所述第二高折射率层的第一部分，所述第一部分的范围位于与所述第一低折射率层的顶表面相对的部分和跨越所述第一低折射率层抵达所述第一高折射率层的部分之间；并且包含在所述上部反射镜内的所述第二加强部分对应于所述第四高折射率层的第二部分，所述第二部分的范围位于与所述第二低折射率层的顶表面相对的部分和跨越所述第二低折射率层抵达所述第三高折射率层的部分之间。