| 摘要 |
1. Многослойный пироэлектрический чувствительный элемент, содержащий тонкопленочную структуру, сформированную на подложке, по крайней мере, из трех слоев, расположенных один над другим поликристаллических сегнетоэлектрических релаксоров, включающих слой из твердого раствора магнониобата титаната свинца, верхний и нижний электроды, нанесенные на поверхности, перпендикулярные полярной оси тонкопленочной структуры, причем верхний электрод нанесен на внешнюю поверхность тонкопленочной структуры, отличающийся тем, что слои поликристаллических сегнетоэлектрических релаксоров сформированы на подложке из керамического электретного материала, содержащей сегнетоэлектрик на основе цирконата титаната свинца с добавкой стекла, причем материал первого слоя сегнетоэлектрического релаксора в направлении от подложки к верхнему электроду имеет состав: 0,75 PbMg1/3Nb2/3O3-0,25 PbTiO3 (0,75 PMN-0,25 PT), материал второго слоя - 0,85 PbMg1/3Nb2/3O3-0,15 PbTiO3 (0,85 PMN-0,15 PT) и материал третьего слоя - 0,925 PbMg1/3Nb2/3O3-0,075 PbTiO3 (0,925 PMN-0,075) PT), а нижний электрод нанесен на внешнюю поверхность подложки. ! 2. Многослойный пироэлектрический чувствительный элемент по п.1, отличающийся тем, что керамический электретный материал подложки содержит сегнетоэлектрик состава ! 0,437(PbZrTiO3)0,373(PbZrTiO3)0,44(PbMn1/3Nb2/3)O3(PbW1/2Nb2/3)O3 ! с добавкой стекла состава, вес%: ! 40 PbO+40SiO3+10 TiO3+6Bi2O3+2SrO+2WO3 ! при следующем соотношении исходных компонентов, вес%: ! сегнетоэлектрик 70 стекло 30 ! 3. Многослойный пироэлектрический чувствительный элемент по п.1, отличающийся тем, что толщина подложки составляет 30-40 мкм. |
