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发明名称 Crosslinked positive-working photoresist composition
摘要
申请公布号 EP1182506(B1) 申请公布日期 2010.10.27
申请号 EP20010306923 申请日期 2001.08.14
申请人 TOKYO OHKA KOGYO CO., LTD. 发明人 OOMORI, KATSUMI;KINOSHITA, YOHEI;YAMADA, TOMOTAKA;TAKAYAMA, TOSHIKAZU
分类号 G03F7/004;G03F7/039 主分类号 G03F7/004
代理机构 代理人
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