发明名称 |
具有纳米结构插入层的GaN基LED |
摘要 |
一种具有纳米结构插入层的GaN基LED,其中包括:一衬底;一纳米结构模板,该纳米结构模板外延生长在衬底上,该纳米结构模板的表面为凹凸形状;一插入层,该插入层外延生长在纳米结构模板的表面上;一N型欧姆接触层,该欧姆接触层外延生长在插入层上,该欧姆接触层上面的一侧形成有一台面;一有源层,该有源层外延生长在N型欧姆接触层的台面的另一侧上;一P型层,P型层外延生长在有源层上;一透明电极层,该透明电极层制作在P型层上;一P压焊电极,该压焊电极通过光刻制作在透明电极上;一N欧姆接触电极,该欧姆接触电极22制作在N型欧姆接触层的台面上。 |
申请公布号 |
CN101872820A |
申请公布日期 |
2010.10.27 |
申请号 |
CN201010183393.6 |
申请日期 |
2010.05.19 |
申请人 |
中国科学院半导体研究所 |
发明人 |
朱继红;张书明;朱建军 |
分类号 |
H01L33/20(2010.01)I;H01L33/22(2010.01)I |
主分类号 |
H01L33/20(2010.01)I |
代理机构 |
中科专利商标代理有限责任公司 11021 |
代理人 |
汤保平 |
主权项 |
一种具有纳米结构插入层的GaN基LED,其中包括:一衬底;一纳米结构模板,该纳米结构模板外延生长在衬底上,该纳米结构模板的表面为凹凸形状;一插入层,该插入层外延生长在纳米结构模板的表面上;一N型欧姆接触层,该欧姆接触层外延生长在插入层上,该欧姆接触层上面的一侧形成有一台面;一有源层,该有源层外延生长在N型欧姆接触层的台面的另一侧上;一P型层,P型层外延生长在有源层上;一透明电极层,该透明电极层制作在P型层上;一P压焊电极,该压焊电极通过光刻制作在透明电极上;一N欧姆接触电极,该欧姆接触电极22制作在N型欧姆接触层的台面上。 |
地址 |
100083 北京市海淀区清华东路甲35号 |