发明名称 |
气体检测装置、气体检测系统及气体检测装置的制作方法 |
摘要 |
本发明涉及一种气体检测装置,其包括石英板、第一电极、第二电极、第一活化层及吸附层,所述石英板具有相对的第一表面和第二表面,所述第一电极形成于第一表面,所述第二电极形成于第二表面,所述第一活化层形成于第一电极表面,所述第一活化层形的材料为氧化铜,用于活化所述吸附层。所述吸附层形成于第一活化层表面,所述吸附层由铱二氧化铱纳米棒组成,所述吸附层用于吸附待检测气体,以使气体检测装置的质量发生变化,从而获得待检测气体的浓度。 |
申请公布号 |
CN101871904A |
申请公布日期 |
2010.10.27 |
申请号 |
CN200910301837.9 |
申请日期 |
2009.04.25 |
申请人 |
鸿富锦精密工业(深圳)有限公司;鸿海精密工业股份有限公司 |
发明人 |
裴绍凯 |
分类号 |
G01N27/00(2006.01)I;G01R23/02(2006.01)I |
主分类号 |
G01N27/00(2006.01)I |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
一种气体检测装置,其包括石英板、第一电极、第二电极、第一活化层及吸附层,所述石英板具有相对的第一表面和第二表面,所述第一电极形成于第一表面,所述第二电极形成于第二表面,所述第一活化层形成于第一电极表面,所述第一活化层的材料为氧化铜,用于活化吸附层,所述吸附层形成于第一活化层表面,所述吸附层由铱二氧化铱纳米棒组成,用于吸附待检测气体,以使气体检测装置的质量发生变化,从而获得待检测气体的浓度。 |
地址 |
518109 广东省深圳市宝安区龙华镇油松第十工业区东环二路2号 |