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发明名称
摘要
申请公布号 JP4568431(B2) 申请公布日期 2010.10.27
申请号 JP20000570812 申请日期 1999.09.13
申请人 发明人
分类号 H01J37/09;H01J37/02;H01L21/027 主分类号 H01J37/09
代理机构 代理人
主权项
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