柔性覆铜层叠基板的制造方法以及多层层叠体

摘要

在带有耐热性载体的极薄铜箔上直接涂布树脂溶液形成树脂层后，抑制剥离载体时产生的柔性覆铜层叠基板的卷曲产生。通过在载体4上介由剥离层3形成了极薄铜箔2的带有耐热性载体的极薄铜箔的极薄铜箔上涂布树脂溶液，进行干燥、热处理从而形成在带有耐热性载体的极薄铜箔上形成了1层以上的树脂层1的多层层叠体，然后剥离载体从而制造由树脂层1和极薄铜箔2构成的柔性覆铜的层叠基板6的方法中，对剥离前的多层层叠体产生使载体侧为内侧进行卷曲的力，然后剥离载体从而制造抑制了卷曲量的柔性覆铜的层叠基板6。

主权项

柔性覆铜层叠基板的制造方法，该方法是在耐热性载体上介由具有0.5μm以下厚度的剥离层形成厚0.1～10μm的极薄铜箔的带有耐热性载体的极薄铜箔的极薄铜箔上涂布树脂溶液，进行干燥、热处理从而形成在带有耐热性载体的极薄铜箔上形成了2层以上的树脂层的多层层叠体，然后剥离耐热性载体从而制造由树脂层和极薄铜箔构成的柔性覆铜层叠基板，其特征在于：树脂层具有热膨胀系数为20×10-6K-1以上的高热膨胀性树脂层和热膨胀系数小于20×10-6K-1的低膨胀性树脂层，使树脂层整体的热膨胀系数为15×10-6～25×10-6K-1的范围，同时通过使树脂层的总厚度为10～50μm，对于耐热性载体剥离前的多层层叠体产生使耐热性载体侧为内侧而卷曲的力，以使50mm×50mm的多层层叠体样品中四角高度的平均值C为1mm≤C≤10mm，然后剥离耐热性载体从而制造将使用50mm×50mm样品测定的卷曲量抑制在±3mm以内的柔性覆铜层叠基板。