发明名称 一种透明导电膜用ZD(H)O材料及其制备方法
摘要 本发明公开了一种透明导电膜用ZD(H)O材料。该透明导电膜用ZD(H)O材料以ZnO粉体为主料,搀杂Dy2O3粉体和/或Ho2O3粉体,组成原料粉体。ZnO粉体为75-98wt%,Dy2O3粉体与Ho2O3粉体的含量之和为2.0-25wt%。本发明的ZD(H)O材料的特点是磁控溅射制造的透明导电薄膜的电阻率可达到1×10-4Ω·cm,在750nm以下所有厚度的透明导电膜可见光透过率均可大于90%,性能稳定性良好。
申请公布号 CN101870580A 申请公布日期 2010.10.27
申请号 CN200910133986.9 申请日期 2009.04.22
申请人 宜兴佰伦光电材料科技有限公司;孔伟华 发明人 孔伟华
分类号 C04B35/453(2006.01)I;C04B35/622(2006.01)I;C04B35/64(2006.01)I 主分类号 C04B35/453(2006.01)I
代理机构 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 代理人 魏忠晖
主权项 一种透明导电膜用ZD(H)O材料,其特征在于:以ZnO粉体为主料,搀杂Dy2O3粉体和/或Ho2O3粉体,组成原料粉体。
地址 214263 江苏省宜兴市周铁镇下邾街