包括气体供应部和用于补偿由所供应的气体传递的力的补偿单元的、用于激光加工机器的加工头

摘要

本发明涉及一种加工头(10)，所述加工头用于激光加工机器(1)，所述激光加工机器用于利用激光束(5)加工工件(2)，所述加工头包括：聚焦激光束的聚焦光学器件(25)；和用于移动和/或调节聚焦光学器件(25)的驱动装置(40)，所述驱动装置被设计成流体驱动部(40)；其中气态流能够被引入到在激光束(5)的入射端上接界聚焦光学器件(25)的区域(75)。

主权项

一种加工头(10)，所述加工头(10)用于激光加工机器(1)，所述激光加工机器(1)用于利用激光束(5)加工工件(2)，所述加工头(10)包括：聚焦光学器件(25)，所述聚焦光学器件聚焦所述激光束；用于移动和/或调节所述聚焦光学器件(25)的驱动装置(40)，所述驱动装置被设计成流体驱动部(40)；用于至少一种加压气体的至少一个供应部(90，62，60，63；95，72，70，73)，所述供应部包括用于相应的气体的至少一个出口开口(63；73)，其中气体能够被导引至相应的出口开口(63；73)，并且能够作为气态流(64；74)从所述供应部、通过相应的出口开口被引入接界所述聚焦光学器件(25)的区域(65，75)中；至少一个补偿单元(60，61.1；70，71.1)，所述补偿单元补偿能够由相应的气态流传递到所述聚焦光学器件(25)的力；所述补偿单元(60，61.1；70，71.1)包括气体腔室(60；70)和活塞表面(61.1；71.1)，所述气体腔室能够充满相应的气体，所述活塞表面能够被相应的气体撞击并且所述活塞表面被刚性连接到所述聚焦光学器件；其中，所述活塞表面(61.1；71.1)布置成使得通过能够由相应的气体而传递到所述活塞表面(61.1；71.1)的力完全地或者部分地补偿能够由相应的气态流(64；74)而传递到所述聚焦光学器件(25)的力；并且所述气体腔室(60；70)集成于所述供应部(90，62，60，63；95，72，70，73)中，使得所述气体腔室(60；70)能够充满气体，该气体通过所述气体腔室(60；70)中的至少一个进口开口(62，72)被导引至相应的出口开口，其中，在经过相应的进口开口之后，所述气体必须流动通过所述气体腔室(60；70)以到达相应的出口开口(63；73)；并且所述气体腔室(60；70)设计成与所述激光束的传播方向(5.1)是同心的，并且能够被所述气体撞击的所述活塞表面(61.1；71.1)包括环的形状，所述环相对于所述激光束(5)的传播方向(5.1)是同心的，其特征在于所述供应部(95，72，70，73)的相应的出口开口(73)布置成使得相应的气态流能够被引入到在所述激光束(5)的入射端上接界所述聚焦光学器件(25)的区域(75)。