一种适合于酸产生剂的盐及含有它的化学放大型抗蚀剂组合物

摘要

本发明提供了一种式(I)的盐其中X代表-OH或-Y-OH，n表示1到9的整数，A+代表有机抗衡离子，Y代表具有1到6个碳原子的二价饱和脂肪烃基。本发明还提供了一种含有式(I)盐的化学放大型抗蚀剂组合物。

主权项

1.一种式(I)的盐其中X代表-OH或-Y-OH，n表示1到9的整数，Y代表具有1到6个碳原子的二价饱和脂肪烃基，A⁺是至少一种选自式(IIa)、(IIb)、(IIc)和(IId)的阳离子，式(IIa)的阳离子其中P¹到P³各自独立地代表氢原子、羟基、具有1到12个碳原子的烷基或具有1到12个碳原子的烷氧基，式(IIb)的阳离子其中P⁴和P⁵各自独立地代表氢原子、羟基、具有1到12个碳原子的烷基或具有1到12个碳原子的烷氧基，式(IIc)的阳离子其中P⁶和P⁷各自独立地代表具有1到12个碳原子的烷基或具有3到12个碳原子的环烷基，或P⁶和P⁷键合形成具有3到12个碳原子的二价无环式烃基，其与相邻的S⁺一起形成环，并且在该二价无环式烃基上至少一个-CH₂-被-CO-、-O-或-S-任选取代，P⁸代表氢，P⁹代表具有1到12个碳原子的烷基、具有3到12个碳原子的环烷基或苯基、甲苯基、二甲苯基或萘基，或P⁸和P⁹键合形成二价无环式烃基，其与相邻的-CHCO-一起形成2-氧代环烷基，并且在该二价无环式烃基上至少一个-CH₂-被-CO-、-O-或-S-任选取代，式(IId)的阳离子其中P¹⁰、P¹¹、P¹²、P¹³、P¹⁴、P¹⁵、P¹⁶、P¹⁷、P¹⁸、P¹⁹、P²⁰和P²¹各自独立地代表氢原子、羟基、具有1到12个碳原子的烷基或具有1到12个碳原子的烷氧基，B代表硫原子或氧原子，并且m代表0或1。