| 发明名称 | 一种生产线设备的工艺任务调度方法及装置 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种生产线设备的工艺任务调度方法，包括：针对启动的工艺任务，获取其配置的工艺模块信息及其可用状态信息；依据所述可用状态信息占用可用的工艺模块执行所述工艺任务。本发明可以节约工艺模块资源，提高生产线设备的生产效率。 | ||
| 申请公布号 | CN101872191A | 申请公布日期 | 2010.10.27 |
| 申请号 | CN201010184990.0 | 申请日期 | 2010.05.20 |
| 申请人 | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 | 发明人 | 张继宏 |
| 分类号 | G05B19/418(2006.01)I | 主分类号 | G05B19/418(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京润泽恒知识产权代理有限公司 11319 | 代理人 | 苏培华 |
| 主权项 | 一种生产线设备的工艺任务调度方法，其特征在于，包括：针对启动的工艺任务，获取其配置的工艺模块信息及其可用状态信息；依据所述可用状态信息占用可用的工艺模块执行所述工艺任务。 | ||
| 地址 | 100016 北京市朝阳区酒仙桥东路一号M5座2楼 | ||