通过真空下的负荷固定腔转移物件的方法和装置

摘要

揭示了涉及物件的真空辅助处理的方法和装置，由此在准备腔(15)和处理腔(11)之间引导物件，两个腔都保持基本上相等的低压以提高系统效率和产品质量，其中磁耦合的传动机构(43)被用于在处理之前和之后定位物件。

主权项

一种用于在第一腔和第二腔之间移动半导体晶片的支架的装置，第一腔和第二腔由闸阀连接，装置包括：第一线性传送阵列，适于在第一和第二腔之间接合并移动支架；以及第二线性传送阵列，适于在第一和第二腔之间接合并移动支架，其中第一和第二线性传送阵列相对于彼此可移动，用于将第一腔中的支架转换成第二腔中的支架，或与此相反。