发明名称 NANOMOTION SENSING SYSTEM AND METHOD
摘要
申请公布号 EP1563275(A4) 申请公布日期 2010.10.27
申请号 EP20030781361 申请日期 2003.10.21
申请人 ALEGIS MICROSYSTEMS 发明人 ALLEN, MICHAEL JOHN;GHISLAIN, LUCIEN
分类号 C12Q1/02;G01Q20/02;G01Q30/14;G01Q70/18;(IPC1-7):G01N11/00 主分类号 C12Q1/02
代理机构 代理人
主权项
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