光学照明装置、曝光装置以及曝光方法

摘要

本发明是有关于一种光学照明装置、曝光装置以及曝光方法。该光学照明装置，例如搭载于曝光装置中，便可以依据光罩图案的特性，抑制光量损且使照明光的偏振状态改变，得以实施适当的照明条件。具有提供直线偏振光的光源部(1)，以光源部发出的光来照明被照射面(M、W)。光学照明装置具有偏振状态切换手段(10、20)，配置在光源部与被照射面之间的光路中，用以使照明被照射面的光的偏振状态在特定偏振状态与非偏振状态之间做切换。偏振状态切换手段更具有去偏振器(20)，其架构成可以自在地插入与脱离于照明光路中，并且可依据所需将入射的直线偏振光去偏振。

主权项

一种光学照明装置，依据从光源部发出的光，以特定偏振状态来照明被照射面，其特征在于该光学照明装置包括：导光手段，配置在该光源部与该被照射面之间的光路中，将从该光源部发出的光导引到该被照射面；以及偏振状态变动修正手段，包括：偏振状态调整手段，包括可调整相位板，配置在该光源部与该被照射面之间的光路中，用以调整在被照射面上的偏振状态成所要的直线偏振状态；偏振监视器，配置在该光源部与该被照射面之间的光路中，用以检测出光的偏振状态；以及控制部，依据该偏振监视器的输出，以控制该偏振状态调整手段。