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发明名称
摘要
申请公布号 JP4570739(B2) 申请公布日期 2010.10.27
申请号 JP20000219544 申请日期 2000.07.19
申请人 发明人
分类号 C23C14/14;H01G9/004;C23C16/06;H01G9/012;H01G9/028;H01G9/15 主分类号 C23C14/14
代理机构 代理人
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