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发明名称
摘要
申请公布号
JP4570210(B2)
申请公布日期
2010.10.27
申请号
JP20000184467
申请日期
2000.06.20
申请人
发明人
分类号
H01L21/60
主分类号
H01L21/60
代理机构
代理人
主权项
地址
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